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在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)出現(xiàn)以前，測(cè)量空間三維尺寸的原始使用測(cè)高儀、測(cè)量?jī)x等在平板上進(jìn)行測(cè)量，還采用了特殊的量規(guī)、心軸、檢棒等測(cè)量孔的同軸度和相互位置精度。此法勞動(dòng)強(qiáng)度大，效率低，精度不易保證。特種測(cè)試儀制造成本高，使用麻煩，即使是熟練的測(cè)量員也很難得到穩(wěn)定準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。二是采用坐標(biāo)鏜床測(cè)量，在鏜床上使用其三坐標(biāo)機(jī)構(gòu)，在軸(鏜頭)上裝上測(cè)微儀(指示表或傳感器)，對(duì)工件進(jìn)行三維測(cè)量。這種傳統(tǒng)的測(cè)量方法費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且難以達(dá)到精度要求。
此外，為了測(cè)量復(fù)雜的外形和形狀，通常設(shè)計(jì)專門的測(cè)量設(shè)備或?qū)Ｓ脙x器。該方法的原理是從理論上對(duì)所需的復(fù)雜運(yùn)動(dòng)(如發(fā)動(dòng)機(jī)氣缸體內(nèi)需要形成次擺線運(yùn)動(dòng)，齒輪需要形成漸開線運(yùn)動(dòng))，然后裝上測(cè)微儀與實(shí)際工件的輪廓進(jìn)行比較測(cè)量，描繪出實(shí)際輪廓曲線。如果機(jī)構(gòu)不精確，則這種測(cè)量裝置適用范圍廣、成本高。雖然這類專用儀器還在開發(fā)之中，但由于通用性較差，不適合作為一般的三維測(cè)量工具。
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是基于坐標(biāo)測(cè)量原理的。同其他事物一樣，坐標(biāo)測(cè)量的發(fā)展也是由簡(jiǎn)單到復(fù)雜逐漸形成的。使用較早的測(cè)長機(jī)，可以在一個(gè)坐標(biāo)方向上測(cè)量工件的長度，即為單坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，只完成一維測(cè)量。隨后出現(xiàn)的萬能工具顯微鏡具有 X和 Y兩個(gè)坐標(biāo)方向移動(dòng)的工作臺(tái)，可以測(cè)量平面上各點(diǎn)的坐標(biāo)位置，即為二維測(cè)量，也可以稱為二坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。而且三維測(cè)量需要有 X、 Y、 Z方向的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，可以在空間范圍內(nèi)測(cè)量各點(diǎn)的坐標(biāo)位置。這樣，在理論上，三維測(cè)量可以對(duì)空間中任意位置的點(diǎn)、線、面和位置進(jìn)行測(cè)量。
立體測(cè)量的原理是：將被測(cè)物體置于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的空間中，可以得到被測(cè)物體上各測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)位置，并根據(jù)這些點(diǎn)的空間坐標(biāo)值，進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算，得到被測(cè)物體的幾何尺寸、形狀和位置。
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